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3.2.1 洁净室(区)的空气洁净度等级应按现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定执行。洁净室(区)设计时,空气洁净度等级所处状态(空态、静态、动态)应与业主协商确定。
3.2.2 各种电子产品生产环境的空气洁净度等级应根据生产工艺要求确定;无要求时,可按本规范附录A确定。
3.2.3 洁净室(区)的温度和相对湿度应按表3.2 3确定。
3.2.4 各类电子产品生产所需纯水水质、气体及化学品的纯度和杂质含量等应根据生产工艺要求确定。
3.2.5 单向流和混合流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于65dB(A),非单向流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于60dB(A)。
3.2.6 洁净室(区)的微振动控制设计应满足精密设备、仪器的振动容许值要求。无要求时,可按本规范附录C或根据其工作特性确定。