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洁净室的温度和湿度及噪音如何检测?
1、洁净室内空气湿度和相对湿度测定之前,净化空调系统应已连续运行至少24h。对有恒温要求的场所,根据相对温度和相对湿度波动范围的要求,测定宜连续进行8—48h,每次测定间隔不大于30mm。
2、根据温度和相对湿度波动范围,应选择相应的具有足够精度的仪表进行测定。
3、洁净室内测点一般布置在以下各处:
(1)送、回风口处;
(2)恒温工作区内具有代表性的地点(如沿着工艺设备周围布置或等距离布置);
(3)室中心(没有恒温要求的系统,温、湿度只测此一点);
(4)敏感元件处。
所有测点宜在同一高度,离地面0.8m。也可以根据恒温区的大小,分别布置在离地的几个平面上。测点距外墙表面应大于0.5m。
4.测点数按附表6.4确定。
附表6.4温、湿度测点数:
波动范围 | 室面积≤50m2 | 每增加20-50m2 |
±0.5~±2℃ ±5~±10%RH | 5 | 增加3-5 |
≤|0.5|℃ ≤|5|%RH | 点间距不应大于2m,点数不应少于5个 |
洁净室室内噪声的检测
1.测噪声仪器为带倍频程分析仪的声级计。一般只测A声级的数值,必要时测倍频程声压级。
2.测点位置:宜按附图6—1的5点设置,面积在15m2 以F者,可用室中心1点;测点高度距地面1.1m。
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