上海洁净室洁净度测定检测机构

　　《洁净室施工及验收规范》 (jgj71-90)中规定如下：

　　1、检测规则

　　(1)测定洁净度的最低限度采样点数按表 7-9 的规定确定。每点采样次数不小于 3 次，各点采样次数可以不同。

　　表 7-9 最低限度采样点数

　　注：表中面积的含义是：对于单向流(层流)洁净室，是指送风面面积，对于乱流洁净室，是指房间面积。

　　(2)测定洁净度的最小采样量按表 7-10 的规定确定。

　　表 7-10 每次采样的最小采样量(l)

　　(3)对于单向流洁净室，采样口应对着气流方向，对于乱流洁净室，采样口宜向上。采样速度均应尽可能接近室内气流速度。也即参考“等速采样” 。

　　(4)洁净度测点布置原则是：

　　多于 5 点时分可分层布置，但每层不少于 5 点; 5 点或 5 点以下时，可布置在离地 0.8m 高平面的对角线上(如图 7-5) ，或该平面上的两个过滤器之间的地点，也可以在认为需要布点的其他地方。

　　2、数据整理

　　室内洁净度按公式计算室平均含尘浓度 n 和各测点平均含尘浓度的标准误差。

　　3、评定标准

　　如测定时的状态(空态、静态、动态)与事先约定的状态相同，则以其级别上限做为评定标准。 如测定时为空态或静态，则动态时粒子数肯定会高，所以，如用静态检测代替动态检测则粒子数会偏小，有时可以用静态粒子数的 3～5 倍来估计动态情况，当然这也仅是个经验参考值。

　　4、注意事项

　　测定时进入洁净室人员要穿洁净服(有风淋室时需经风淋)在室内尽量处于下风处并静止少动，最多能进二人。

　　粒子计数器一般均有一个开机后预热稳定过程(时间因机型而异)注意按仪表说明书操作。

　　一般粒子计数器均有“粒子校准”这一旋纽，在使用前必须校准，使用一段时间(例如连续使用 0.5～1h)后均需进行检查。严禁故意将

　　灵敏度调低的不正当做法。

　　每个测点测完后需要移机 (或移动采样口) 时， 要有一个稳定过程， 一般为 1～5 分钟，也可以将移机后前几次打印数据弃去。

　　有研究发现打印机本身的动作具有一定的产尘量，故在测量高级别洁净室时，要考虑打印机纸张发尘的影响。建议选取可储存数据的仪器，实验后再把结果打印出来。或将连线延长，将打印机置于被测洁净室外。

　　在粒子计数器中反应的粒径，只是“光散射等效粒径” ，因为计数器是用接近大气尘密度的聚苯乙烯小球(标准粒子)来标定的，所以在实例中凡是与某种直径的标准粒子的光散射特性相同的灰尘就被记录为该粒径的粒数， 而不能真正代表该灰尘的真实外形和理化性能，而这个方面，还得在采样后靠显微镜(电子显微镜)和微量(痕量)理化分析来解决。

　　目前的粒子计数器都存在一个“上限浓度”问题，由于仪器本身构造原因，如抽气流速过大，会有可能两个或多个粒子同时进入散射光区域，此时会合并计出一个粒径偏大的粒子，从而造成测量的重叠误差。如实测环境含尘量超过上限浓度，则应采用稀释器稀释后再测。

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