如何确保洁净室压差的稳定性

　　确保洁净室的压差:

　　1)风量平衡风量分配的精准性;

　　2)压力梯度的合理性;

　　3)风口布局，房间的密闭性;

　　4)系统调整、测试的严谨性。

　　1)除回风支立管上的风阀，回风墙上的风口最好配有暗藏式手动对开多页调节阀，便于风量分配和压差整定。

　　2)回风百叶建议选用门铰式的，便于更换回风口过滤器(若设计有过滤器)。

　　3)回风墙的密闭措施要到位，不应有非密封的罅隙影响气流组织。

　　4)压差设计以满足工艺需要为前提。且不得低于规范标准之要求，因为规范是最起码的要求。

　　总而言之，洁净室最终为工艺服务，细节上要多结合生产工艺进行处理，才能有品质的保证。

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