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洁净度的测定一般分为空态、静态和动态。空态是指洁净室已竣工,空调系统已处于正常运行状态,试验调整工作结束并符合要求,室内无生产设备和工作人员状态下进行的测定。静态是指空调系统已处于正常运行状态,试验调整工作结束并符合要求,室内生产设备已安装,无工作人员状态下进行的测定。动态是指洁净室已处于正常生产状态下进行的测定。
上海示帕可根据您的要求测定,下面主要介绍下ISO14644中规定的测定方法,如下:
检测前,必须要验证洁净室或者洁净区的整体运行各个方面均正常无误,符合性能要求。
按洁净室或洁净区的面积的平方根,求出最少采样点的数量。确保采样点在整个洁净室或洁净区内均匀分布,并位于工作面高度。若关注粒径的最大粒子浓度处于指定ISO等级的浓度上限,则在每个采样点要采集足以检测出不少于20颗粒子的空气量由式(D.2)确定每个采样点的单次采样量
Vs:
Vs=×1000……………(D.2)
式中:
Vs --------每个采样点一次最少采样量(例外情况见6.5.8),单位为升(L);
--------相关等级最大关注粒径的浓度限值,单位为个每立方米(个/m3)20-----当粒子浓度处于等级限值时可被检测到的粒子数量规定值。
注:Vs值很大时,采样时间可很长。采用序贯采样法(见附录F)所需采样量和采样时间均可减少。
每个采样点的采样量不得少于2L,采样时间不得少于1min。
采样规程
按制造商的说明和仪器校准证书设置粒子计数量。
采样探头应指向气流。若采样点处气流方向未受控或不可预测(例如非单向流),则采样探头的进气口应垂直向上。
在每个采样点按确定的最小采样量采样。
当仅需要一个采样点时,则在该点最少进行三次采样。
记录下相关空气洁净度等级的每个关注粒径粒子的单次采样浓度。
注:在计算95%置信上限之前,应先考虑的要求
当只有一个采样点时,计算每个关注粒径采样数据的平均值并记录下来。
当在一个采样点上进行2次或2次以上的采样时,按照6.5.13给出的规程,从各次采样计算(6.5.10)出每个关注粒径的粒子平均浓度,并记录结果。
单个采样点平均浓度()计算方法
在一个采样点多次采样时,须使用式(C.1)来确定该点的平均粒子浓度。采样次数不只1次的采样点,均应计算平均粒子浓度。
………………………………(C.1)
当采样点数量不只1个且不到10个时,按照6.5.15给出的规程,以所有各点的平均粒子浓度计算总平均值、标准差和95%置信上限。
95%置信上限计算方法
原则
本方法只适用于采样点数量多于1个但不足10个的情况。在这种情况下,除了执行式(C.1)的计算外,还须进行以下计算。
总平均值()
用式(C.2)计算所有测点平均值的总平均值。
…………………………(C.2)
式中:
— 所有采样点平均值的总平均值;
至—用式(C.1)计算出的各采样点的平均值;
—采样点的数量。
无论某个采样点的样本数是多少,各采样点平均给予相同加权。
6.5.15.3采样点平均值得标准差(s)
用式(C.3)确定采样点平均值得标准差。
……………………(C.3)
式中:
s—采样点平均值的标准差。
6.5.15.4 总平均值的95%置信上限(UCL)
用式(C.4)确定总平均值的95%置信上限:
95%UCL= ………………………(C.4)
式中:
—m-1自由度时处在第95%分位上的t分布值。
表C.1中给出了计算95%置信上限(UCL)所用的t分布值(t0.95),也可以采用计算机自带系统程序给出的t分布值。
表C.1计算95%置信上限所用的t分布值
采样点的数量/m | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7~9 |
t | 6.3 | 2.9 | 2.4 | 2.1 | 2.0 | 1.9 |
6.5.16 当采样点只有1个或多于9个时,无需计算95%置信上限。
6.5.17若每个采样点测得的粒子浓度平均值,以及适用时按6.5.15计算的95%置信上限,均未超过按式(C.5)确定的浓度限值,则认为该洁净室或洁净区达到规定的空气洁净度等级。
空气洁净度等级以等级编号N表示。每种关注粒径D的最大允许粒子浓度Cn由式(C.5)确定:
………………………(C.5)
式中:
—大于或等于关注粒径的粒子最大允许浓度(以每立方米空气中粒子的个数表示),将修约为不超过3位有效数字的整数。
N —ISO等级的数字编号,最大不超过9。N的各整数等级之间可以设定最小增量为0.1的中间等级;
D — 关注粒径,单位为微米(μm)
0.1—常数,单位为微米(μm)
若检测结果未能满足规定的空气洁净度等级,可新增均匀分布的采样点进行检测。重新计算结果时,除了包含新采样点的数据外,还应包括原有采样点的所有数据。对包括新采样点在内的数据进行的重新计算,其结果是不可更改的。
6.5.18 异常值的处理:
95%置信上限(UCL)的计算结果,可能未达到规定的ISO等级。结果未达到级是测量差错(由于操作差错或设备不正常)所致或是粒子浓度异常低(由于个别测点空气异常洁净)而引起的单个非随机异常值所致,则该值可以不计,条件是:
a) 重新计算时包括所有剩余采样点的数据;
b) 计算中至少还有3个测量值;
c) 计算中不计的测量值不得超过1个;
d) 记录造成测量差错或低粒子浓度的可疑原因,并得到供需双方的认可。
注:依所测洁净设施的应用性质,各采样点粒子浓度相当大的差异可能是合理的,甚至是有意而为。
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