电子洁净室检测-电子工业无尘厂房检测

　　电子工业无尘厂房检测

　　检测项目：1)风量或风速

　　2)静压差

　　3)高效过滤器检漏

　　4)尘埃粒子数

　　5)气流流型

　　6)温度和相对湿度

　　7)噪声

　　8)照度

　　9)自净时间

　　10)密闭性测试

　　11)悬浮微生物采样

　　检测方法简介

　　引用标准GB 50472-2008电子工业洁净厂房设计规范

　　1)风量或风速

　　1对于单向流洁净室,应采用截面平均风速和截面乘积的方法确定送风量,并应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面作为测试平面。应将测试平面分成相等的栅格,每个栅格尺寸应为600mm×600mm或末端空气过滤器尺寸,测点应在栅格中或不应少于3点。每一点的测试时间不应少于10s。应记录平均值、最大值和最小值,并应以算术平均值作为平均风速。

　　2对于非单向流洁净室,每一点的测试时间不应少于10s。

　　3在每个末端空气过滤器或散流器处,应采用风口法、风管法、风罩法等测量送风风速确定送风量,每个测试位置的测点数不应少于3点。

　　2)静压差

　　1静压差的测定应在所有的门关闭时进行。

　　2仪器宜采用各种型式的微压计,仪表灵敏度应小于1.0Pa。

　　3洁净厂房有多个洁净室(区)时,应从最里面的房间与相邻房间的压差测试开始,并应按顺序向外进行检测。

　　3)高效过滤器检漏

　　1仪器应使用采样量大于1l/min的光学粒子计数器。

　　2应在过滤器上风侧引入大于等于0.1m(0.5gm)粒子,粒子浓度应大于3.5×10P/m3的大气尘或其他气溶胶;在过滤器下风侧应用粒子计数器的等动力采样头放在距离被检过滤器表面20~30mm处,并应以5~20mm/s速度移动。应检测包括过滤器的整个面和过滤器周边、过滤器框架及其密封处的扫描。

　　4)悬浮粒子数

　　1应使用采样量大于1l/min光学粒子计数器,应根据粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率等要求选用仪器。仪器应有有效的标定合格证书。

　　2最少采样点应按下式计算:

　　NL=A0.5

　　式中NL---------最少采样点

　　A-----------洁净室或被控洁净区的面积(m2)。

　　采样点应均匀分布于洁净室(区)的整个面积内,并应位于工作区的高度。

　　3每一采样点的每次采样量应按下式确定:

　　Vs=(20/Cn，m)x100

　　式中Vs------每个采样点的每次采样量,以l表示,当V很大时,可使用顺序采样法。每个采样点的最小采样时间为1min,采样量应至少为2l

　　Cn.m------被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值(p/m3);

　　20------在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值时,可测到的粒子颗数(颗)。

　　4当洁净室(区)仅有一个采样点时,则在该点应至少采样3次

　　5)气流流型

　　1气流流型的检测,宜采用气流目测法。

　　2气流目测法有示踪线法、示踪剂注入法,并应用图像处理技术记录和处理。示踪线法所用纤维或示踪剂的微粒都不应成为洁净室(区)的一种污染源。

　　3示踪线法应为通过观察放置在测试杆末端或气流中细钢丝格栅上的丝线或单根尼龙纤维等,直接目测得到气流方向或因干扰引起的波动。

　　4示踪剂注入法,可采用纯水喷雾或化学法生成的乙醇/正二醇等示踪剂粒子的特性,在高强度光源下进行观察或做成图像。

　　5应采用图像处理技术进行气流目测,本法一般是与示踪结合,将在摄像机或膜上的粒子图像等经技术处理得到气流特性。

　　6气流目测的测点位置、仪器等,应根据洁净室(区)的具条件洽商确定。

　　6)温度、相对湿度

　　1温度、相对湿度的检测应在洁净室(区)内气流分布均匀状态测试,并应在净化空调系统试运转合格后安排进行。温度、相对湿度检测应在净化空调系统已经运转,并应至少稳定运行1.0h后运行。

　　2相对湿度检测应将洁净工作区划分为等面积网格,每格最大面积应为100m2,应每格一个测点,但每个房间不应少于2个测点。

　　3检测用探测器应设在洁净室(区)内的工作高度,且距洁净室(区)的吊顶、墙和地面不应少于300mm。并应考量洁净室(区)内可能存在的热源的影响。

　　4检测时间应至少1.0h,并应至少6min进行1次(30s)读数,记录。

　　7)噪声

　　1洁净室(区)内的噪声检测应采用带倍频程分析的声级计。

　　2洁净室(区)内的噪声检测点应根据电子产品生产工艺要求确定。噪声检测点宜距地面1.1~1.5m,距墙应大于3m;检测点的布置宜按洁净室(区)面积均分,宜每100m2设一检测点

　　8)照度

　　1洁净室(区)内照度检测宜采用便携式自动记录照度计。

　　2照度检测应在室内温度稳定、光源光输出稳定后进行。洁净室(区)照度检测不应包括生产设备等的局部照明和备用照明。

　　3照度检测点应设在工作高度,宜距地面0.85m,应每25m2设一个测点。

　　9)自净时间

　　1自净时间检测,宜用于非单向流洁净室。

　　2自净时间的检测,宜采用大气尘或烟雾发生器等人工尘源为基准,并宜以粒子计数器进行检测,同时应符合下列要求:

　　1)以大气尘为基准时,则必须将洁净室停止运行相当时间在室内含尘浓度已接近于大气浓度时,测出洁净室内靠近回风口处的含尘浓度(N0)。然后开机,定时读数(一般可设置每间隔6s读数一次),直到回风口处的含尘浓度回复到原来的稳定状态,记录下所需的时间(t)。

　　2)以人工尘源为基准时,应将烟雾发生器放置在离地面1.8m以上室中心,发烟1~2min后停止,等待1min,测出洁净室内靠近回风口处的含尘浓度(N。)。然后开机,方法同上。

　　3由初始浓度(N)、室内达到稳定的浓度(N)、实际换气次数(n),可得到计算自净时间(t0),与实测自净时间(t)进行对比如果t≤1.2t0,为合格。

　　4自净时间检测方法除上述方法外,还有微粒浓度变化率评估法等。自净时间检测方法应洽商确定。

　　10)密闭性检测

　　1密闭性检测或称抑制渗漏测试,是测定洁净室(区)有无受污染的空气从周围具有相同或不相同静压的较低洁净度等级的洁净室(区)或非洁净室(区)侵入。本检测一般用于ISO1~5级洁净室(区)。

　　2采用粒子计数器法检测洁净室(区)的密闭性,检测时应先测量紧靠被测围护结构表面外部的悬浮粒子浓度,一般此浓度应比洁净室(区)内浓度大104,并大于等于3.5×106个/m3待测粒径的粒子。

　　3洁净室(区)的施工接缝,包括对墙板、吊顶的接缝和管线、灯具等的接缝的渗漏检测，应在被测部位的50~100mm处扫描,其扫描速度为50mm/s。

　　洁净室敞开门处的渗漏检测,应在距离门0.3~3.0m处测定洁净室内的悬浮粒子浓度。

　　记录并报告比测得的外部相同粒径粒子浓度大于10-3倍的读数和位置。

　　引用标准GB 50591-2010洁净室施工及验收规范标准

　　11)悬浮微生物的采样

　　1采用无源采样装置,如培养皿

　　2采用有源采样装置,如撞击采样器、离心采样器、过滤采样器。

　　GB50597-2010 E.8.2空气洁净环境中悬浮微生物的静态或空态检测前,应对各类表面进行擦拭消毒,但不得对室内空气进行熏蒸、喷洒之类的消毒。动态检测均不得对表面和空气进行消毒。

　　GB50597-2010 E.8.3沉降菌检测应符合下列要求

　　1使用直径90mm(90)的培养皿采样。当采用其他直径培养皿时,应使其总面积和90皿总面积相当。

　　2培养皿中灌注胰蛋白酶大豆琼脂培养基,必须留样作阴性对照。

　　3培养皿表面应经适当消毒清洁处理后,布置在有代表性的地点和气流扰动极小的地点。在乱流洁净室内培养皿不应布置在送风口正下方。

　　4当用户没有特定要求时,培养皿应布置在地面及其以上8m之内的任意高度。

　　5每一间洁净室或每一个控制区应设1个阴性对照皿。

　　6动态监测时也可协商布点位置和高度。

　　7培养皿数应不少于微粒计数浓度的测点数,如工艺无特殊要求应大于等于表1中的最少培养皿数,另外各加1个对照皿。

　　8当延长沉降时间时,可按比例减少最少培养皿数,为防止脱水,最长沉降时间不宜超过1h,当所需沉降时间超过1b可重叠多皿连续采样。除非经过验证,证明更长的沉降时间可以

　　基本按比例增加菌落数。

　　9培养皿应从内向外布置,从外向内收皿。

　　10每布置完1个皿,皿盖只允许斜4放在皿边上,对照皿盖挪开即盖上。

　　11布皿前和收皿后,均应用双层包装保护培养皿,以防污染。

　　12收皿后皿应倒置摆放,并应及时放入培养箱培养,在培养箱外时间不宜超过2h。如无专业标准规定,对于检测细菌总数,培养温度采用(35~37)℃,培养时间为(24~48)h;对于检测真菌,培养温度(27~29)℃,培养时间3d。

　　13布皿和收皿的检测人员必须穿无菌服,但不得穿大褂。头、手均不得裸露,裤管应塞在袜套内,并不得穿拖鞋。

　　14对培养后的皿上菌落计数时,应采用5~10倍放大镜查看,若有2个或更多的菌落重叠,可分辨时则以2个或多个菌落计数。

　　15当单皿菌落数太大受到质疑时,可按以下原则之一进行处理:

　　1)作为坏点剔除;

　　2)重测,如结果仍大,以两次平均值为准;如结果很小可再重测;

　　3)重测该处微粒浓度,参考此结果作出判断。

　　所有上述处理方法均应记录在案

　　16每皿平均菌落数取到小数点后1位。

　　17动态监测时每点叠放多个平皿或采用可自动切换的仪器,每点应采满4h以上,每皿采30min。当只放1个皿时,可少于4h,但不可少于1h。

　　GB50597-2010 E.8.4浮游菌采样应符合下列要求

　　1使用单级或多级撞击式采样器、离心采样器或过滤采样器,采样必须按所用仪器说明书的步骤进行,特别要注意检测之前对仪器消毒灭菌,并对培养皿或培养基条做阴性对照。

　　2采样点数应不少于微粒计数浓度测点数。

　　3采样点应在离地0.8m高平面上均匀布置,或经委托方(用户)与检测方协商确定。乱流洁净室内不得在送风口正下方布点。静态或空态检测前对室内各种表面应作擦拭消毒。

　　4每点采样1次,如工艺无特殊要求,每次采样量应大于等于表2推荐的浮游菌最小采样量。

　　每次采样时间不宜超过15min，不应超过30min。

　　当洁净度很高，或预期含菌浓度可能很低时，采样量应大于最小采样量很多，以满足减少计数误差的要求。

　　5 采样器应用支架固定，采样时检测人员应退出，手持离心式采样器除外。检测人员的穿戴同本附录GB50597-2010 E.8.3条第15款。必须手持采样器时,应将手臂伸直,站于下风向。

　　6采样后宜在2h之内将采样器中的培养皿或培养基条送入培养箱中培养。

　　7每点平均值取到小数点后1位。

　　8动态监测的测点位置、数量和高度由工艺并经协商确定。每间洁净室或每一个独立受控环境中各点总采样量,不分级别,均应大于1m3。每点可用多台采样器。

　　9单点菌落数太大时,应按附录E.8.3条第15款的原则处理。

　　GB50597-2010 E.8.5表面染菌密度检测应符合下列要求:

　　1对于洁净室内围护结构、设备等表面的微生物采样,应采用无菌棉拭子擦抹法,当表面很大,硬且平时,也可采用接触皿法。

　　2用规格板标定出面积为625px2的区块,对于围护结构,每面结构不少于4块,对于设备,每件不少于2块,取样地点均协商确定。

　　3将无菌棉拭于含10mL稀释液试管中浸湿,于管壁上挤干后,对一区块擦抹采样,横竖往返8次。每一区块使用1根无菌棉拭。采样后,以无菌操作方式将棉拭采样端剪入原稀释液试管中,经电动混匀器震荡20s或在手掌振打200次。

　　4取含菌液体1.Oml,以琼脂灌注法接种平皿,每个样本接种2个平皿,于(35~37)℃培养箱中培养(24~48)h后计数。

　　5必须将本次检测所用的稀释液、棉拭子、培养基等留样作阴性比照。

　　6具体事项遵照卫生部《消毒技术规范》执行。

　　7对于适用接触皿采样的表面,以无菌操作方式,先将培养基注入硬质或软质45平皿,使培养基表面高出培养皿周边测试时,将培养皿倒过来,使培养基表面均匀牢固地按压住整个区域5s,不得有环形或线性的运动。

　　8 对于围护结构，没面结构应用不少于4个培养皿按压，对于设备，每件用不少于2个培养皿按压。

　　9 按压取样后的培养皿，应在2h之内，与(35-37)℃培养箱中培养(24-48)h后计数。

　　10 菌数平均数取到小数点后1位。

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